產(chǎn)品型號(hào)
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產(chǎn)品分類(lèi)
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v 應(yīng)用方向：提供深硅蝕刻（DSiE）領(lǐng)域的MEMS，封裝和納米技術(shù)的廣泛應(yīng)用，從光滑側(cè)壁工藝到高刻蝕速率腔刻蝕、高深寬比工藝和錐形通孔刻蝕，不需要更換腔室硬件就可以實(shí)現(xiàn)
v 產(chǎn)品特點(diǎn)：
? 光滑側(cè)壁工藝
? 高刻蝕速率腔刻蝕
? 高深寬比工藝
? 錐形通孔刻蝕
? 機(jī)械或靜電壓盤(pán)，加熱內(nèi)襯
? 延長(zhǎng)了兩次清洗間的平均時(shí)間間隔（MTBC）環(huán)形激光陀螺反射鏡
? X射線(xiàn)光學(xué)系統(tǒng)
? 紅外（IR）傳感器
? II-VI族材料，通信濾波器
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