產(chǎn)品型號
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產(chǎn)品分類
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Canon FPA5000 ES3
1.Canon FPA5000 ES3掃描式光刻機
光源波長248nm
分辨率優(yōu)于0.18µm
主要用于6寸、8寸及12寸生產(chǎn)線
廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等領(lǐng)域
2.產(chǎn)品詳情
主要技術(shù)指標(biāo)
分辨率0.18µm
N.A.0.6-0.73
曝光光源248nm
倍率4:1
曝光現(xiàn)場26mm*33mm
對準(zhǔn)精度35nm
3.更多服務(wù)
提供中英文軟件及6"、 8"、12"設(shè)備硅片改造
常年提供所有備件、耗材
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